X熒光(guang)光(guang)譜儀(yi)（XRF）由激(ji)發(fa)源（X射(she)(she)(she)線(xian)管）和探測(ce)(ce)(ce)系統構成(cheng)。X射(she)(she)(she)線(xian)管產生(sheng)入射(she)(she)(she)X射(she)(she)(she)線(xian)（一(yi)次X射(she)(she)(she)線(xian)），激(ji)發(fa)被測(ce)(ce)(ce)樣(yang)品。受激(ji)發(fa)的(de)樣(yang)品中的(de)每一(yi)種元(yuan)素會放射(she)(she)(she)出二(er)次X射(she)(she)(she)線(xian)，并且(qie)不同的(de)元(yuan)素所放射(she)(she)(she)出的(de)二(er)次X射(she)(she)(she)線(xian)具(ju)有(you)特(te)定(ding)的(de)能量(liang)特(te)性(xing)或波長(chang)特(te)性(xing)。探測(ce)(ce)(ce)系統測(ce)(ce)(ce)量(liang)這些(xie)放射(she)(she)(she)出來(lai)的(de)二(er)次X射(she)(she)(she)線(xian)的(de)能量(liang)及(ji)數(shu)量(liang)。然后，儀器軟件將探測(ce)(ce)(ce)系統所收集到的(de)信(xin)息轉換成(cheng)樣(yang)品中各種元(yuan)素的(de)種類及(ji)含量(liang)。
近年來(lai)，X熒(ying)光光譜分(fen)析(xi)在各行業(ye)應(ying)用(yong)范圍(wei)不斷(duan)拓展，已(yi)成(cheng)為一種廣泛應(ying)用(yong)于冶金、地質、有(you)色、建材、商檢(jian)、環保、衛生等各個領域，特(te)別是在RoHS檢(jian)測(ce)領域應(ying)用(yong)得多也廣泛。大多數(shu)分(fen)析(xi)元素均可用(yong)其進行分(fen)析(xi)，可分(fen)析(xi)固體、粉末(mo)、熔珠、液體等樣品，分(fen)析(xi)范圍(wei)為Be到U。并且具有(you)分(fen)析(xi)速度(du)快、測(ce)量范圍(wei)寬(kuan)、干擾小的特(te)點。
X射線(xian)熒光的物理原(yuan)理：當材料(liao)暴(bao)露在(zai)(zai)短(duan)波(bo)長X光檢查，或(huo)伽馬射(she)線，其組(zu)成原(yuan)子(zi)可(ke)能(neng)(neng)發生(sheng)電(dian)離，如果(guo)原(yuan)子(zi)是暴(bao)露于輻射(she)與能(neng)(neng)源大于它的電(dian)離勢(shi)，足以(yi)(yi)驅逐內層軌道(dao)的電(dian)子(zi)，然而這使原(yuan)子(zi)的電(dian)子(zi)結構不穩定，在(zai)(zai)外軌道(dao)的電(dian)子(zi)會“回補(bu)”進入低(di)軌道(dao)，以(yi)(yi)填(tian)補(bu)留下來的洞。
在“回補”的(de)(de)過(guo)程會釋出多(duo)余(yu)的(de)(de)能(neng)(neng)(neng)源，光子能(neng)(neng)(neng)量是相等兩個(ge)軌道的(de)(de)能(neng)(neng)(neng)量差異的(de)(de)。因(yin)此，物質放射出的(de)(de)輻射，這(zhe)是原子的(de)(de)能(neng)(neng)(neng)量特性。
透射測定
光(guang)譜儀的透(tou)射率(lv)或它的效(xiao)率(lv)可(ke)用(yong)輔(fu)助單色儀裝置(zhi)來測(ce)定。在可(ke)見和近(jin)紫外實(shi)現這些測(ce)量(liang)(liang)沒有任何困難。測(ce)量(liang)(liang)通過(guo)第(di)一個(ge)(ge)單色儀的光(guang)通量(liang)(liang)，緊接著測(ce)量(liang)(liang)通過(guo)兩個(ge)(ge)單色儀的光(guang)通量(liang)(liang)，以這種方式來確定第(di)二(er)個(ge)(ge)單色儀的透(tou)射率(lv)。
絕對(dui)(dui)測量(liang)(liang)需要知(zhi)道單(dan)色儀的絕對(dui)(dui)透(tou)射(she)率：對(dui)(dui)于(yu)相對(dui)(dui)測量(liang)(liang)，以(yi)各(ge)種(zhong)(zhong)波(bo)長處的相對(dui)(dui)單(dan)位可(ke)以(yi)測量(liang)(liang)透(tou)射(she)率。真空紫外線的這些測量(liang)(liang)有相當(dang)大的實驗(yan)困(kun)(kun)難，因此(ci)通常使用輔助(zhu)單(dan)色儀。在各(ge)種(zhong)(zhong)入射(she)角的情況(kuang)下分別測量(liang)(liang)衍射(she)光柵的效率。在許多實驗(yan)步(bu)驟中已(yi)成功地避免了校準上(shang)的困(kun)(kun)難。
優點(dian):
a) 分析速度(du)高(gao)。測定(ding)(ding)用時與測定(ding)(ding)精密(mi)度(du)有關，但一般(ban)都很短，2～5分鐘就可以(yi)測完樣品(pin)中的全(quan)部(bu)待(dai)測元素。
b) X射(she)線熒光(guang)(guang)光(guang)(guang)譜跟樣品的(de)化(hua)學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液(ye)體及晶(jing)質、非(fei)晶(jing)質等物(wu)質的(de)狀態也(ye)基本上沒有關系。（氣體密封在(zai)容器內也(ye)可分析）但是(shi)在(zai)高分辨率(lv)的(de)精(jing)密測定(ding)中卻(que)可看到有波長(chang)變化(hua)等現象。特(te)別是(shi)在(zai)軟X射(she)線范圍內，這種效應(ying)更好(hao)。波長(chang)變化(hua)用于化(hua)學位的(de)測定(ding) 。
c) 非破壞分析。在測(ce)(ce)定(ding)中不會引起化學狀態的改變，也不會出(chu)現試(shi)樣飛散(san)現象。同一試(shi)樣可反復多次測(ce)(ce)量，結果重(zhong)現性好。
d) X射線熒(ying)光分析(xi)是一種(zhong)物理分析(xi)方法，所以對在化學性質上屬同一族的元(yuan)素(su)也能進行分析(xi)。
e) 分(fen)析精(jing)密度(du)高。
f) 制樣簡單，固體、粉末(mo)、液體樣品等(deng)都可以進行分析。 
