用X射(she)(she)線(xian)(xian)照射(she)(she)試樣時(shi)(shi)，試樣可(ke)以(yi)被激發出各種波(bo)(bo)長(chang)(chang)的(de)熒光(guang)X射(she)(she)線(xian)(xian)，需要把混合(he)的(de)X射(she)(she)線(xian)(xian)按波(bo)(bo)長(chang)(chang)(或能(neng)量(liang))分開(kai)，分別測量(liang)不同(tong)波(bo)(bo)長(chang)(chang)(或能(neng)量(liang))的(de)X射(she)(she)線(xian)(xian)的(de)強(qiang)度，以(yi)進(jin)行定(ding)性和(he)(he)定(ding)量(liang)分析，為此使(shi)用的(de)儀器(qi)叫X射(she)(she)線(xian)(xian)熒光(guang)光(guang)譜儀。由于X光(guang)具(ju)有一定(ding)波(bo)(bo)長(chang)(chang)，同(tong)時(shi)(shi)又有一定(ding)能(neng)量(liang)，因(yin)此，X射(she)(she)線(xian)(xian)熒光(guang)光(guang)譜儀有兩種基本類型：波(bo)(bo)長(chang)(chang)色(se)散型和(he)(he)能(neng)量(liang)色(se)散型。下圖是這兩類儀器(qi)的(de)原(yuan)理圖。

用X射(she)(she)(she)線(xian)照射(she)(she)(she)試樣時，試樣可以被激(ji)發出各種波(bo)長的熒(ying)光(guang)X射(she)(she)(she)線(xian)，需要(yao)把混合的X射(she)(she)(she)線(xian)按波(bo)長(或(huo)(huo)能(neng)量(liang)(liang))分開，分別測量(liang)(liang)不(bu)同(tong)波(bo)長(或(huo)(huo)能(neng)量(liang)(liang))的X射(she)(she)(she)線(xian)的強度(du)，以進行定性(xing)和(he)定量(liang)(liang)分析，為此(ci)(ci)使用的儀(yi)(yi)器(qi)叫X射(she)(she)(she)線(xian)熒(ying)光(guang)光(guang)譜(pu)儀(yi)(yi)。由于X光(guang)具(ju)有(you)一定波(bo)長，同(tong)時又(you)有(you)一定能(neng)量(liang)(liang)，因此(ci)(ci)，X射(she)(she)(she)線(xian)熒(ying)光(guang)光(guang)譜(pu)儀(yi)(yi)有(you)兩種基本(ben)類型：波(bo)長色散型和(he)能(neng)量(liang)(liang)色散型。下圖(tu)是這兩類儀(yi)(yi)器(qi)的原理圖(tu)。

現將兩種類型X射線光(guang)譜儀的主要部(bu)件及工(gong)作原(yuan)理敘述如下：

1.X射線管

兩種類型的X射線熒光光譜儀工作原理都需要用X射線管作為激發光源。上圖是X射線管的結構示意圖。燈絲和靶極密封在抽成真空的金屬罩內，燈絲和靶極之間加高壓(一般為40KV),燈絲發射的電子經高壓電場加速撞擊在靶極上，產生X射線。X射線管產生的一次X射線，作為激發X射線熒光的輻射源。只有當一次X射線的波長稍短于受激元素吸收限lmin時，才能有效的激發出X射線熒光。SPANlang=EN-US>lmin的一次X射線其能量不足以使受激元素激發。

X射線管(guan)的靶材和管(guan)工(gong)作(zuo)電壓決定了能有(you)效激發受(shou)激元(yuan)素(su)的那部(bu)分一次(ci)X射線的強(qiang)度。管(guan)工(gong)作(zuo)電壓升(sheng)高，短波長一次(ci)X射線比例增加，故產生的熒光(guang)X射線的強(qiang)度也增強(qiang)。但并(bing)不(bu)是說(shuo)管(guan)工(gong)作(zuo)電壓越(yue)(yue)高越(yue)(yue)好，因為入射X射線的熒光(guang)激發效率與其波長有(you)關，越(yue)(yue)靠近被(bei)測元(yuan)素(su)吸收限波長，激發效率越(yue)(yue)高。

X射(she)(she)線管產生(sheng)的(de)X射(she)(she)線透(tou)過鈹(pi)窗入射(she)(she)到樣品上，激發出(chu)樣品元素的(de)特(te)征X射(she)(she)線，正(zheng)常工作時，X射(she)(she)線管所(suo)消耗功率的(de)0.2%左(zuo)右轉變為X射(she)(she)線輻射(she)(she)，其余均(jun)變為熱能使X射(she)(she)線管升溫，因此必須(xu)不斷的(de)通冷(leng)卻水冷(leng)卻靶電極。