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高分辨場發射掃描電鏡

型 號Hitachi SU8010

產品時間(jian)2024-03-17

所屬分類掃描電子顯微鏡(電鏡)

訪問量3868

產品描述:HITACHI SU-8010高分辨場發射掃描電鏡包括SU-8010主機和E-1045噴鉑噴碳裝置,并配備有EDAX X射線能譜儀。加速電壓為15kV時,分辨率為1.0nm,加速電壓為1kV時,分辨率為1.3nm。
產品概述

HITACHI SU-8010高分辨場發射掃描電鏡包括SU-8010主機和(he)E-1045噴(pen)(pen)鉑噴(pen)(pen)碳裝置,并配備有EDAX X射線能譜儀。加速(su)電(dian)壓(ya)為(wei)15kV時,分(fen)辨率為(wei)1.0nm,加速(su)電(dian)壓(ya)為(wei)1kV時,分(fen)辨率為(wei)1.3nm。

 

日立2005年在中國推出了S-4800型高分辨場發射掃描電鏡,由(you)于(yu)出色的應用(yong)性能、良好的穩定性和(he)簡易的維護,收到了(le)各界用(yong)戶的*。

 

日(ri)立2011年新推出了它的(de)(de)后續機型----SU8010,它繼承(cheng)了S-4800的(de)(de)優點,性能有進(jin)一步(bu)提高,1kv使用減(jian)速功能后,分辨(bian)率提升到(dao)1.3nm,相對于S-4800可以(yi)在更(geng)低的(de)(de)加速電(dian)壓下呈高分辨(bian)像,明顯提升了以(yi)往很(hen)難觀(guan)測(ce)的(de)(de)低原子(zi)序數(shu)樣品的(de)(de)觀(guan)測(ce)效果。

 

產品特點:

1. 低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm

2. 日立專li的ExB設(she)計,不(bu)需噴鍍,可以(yi)直(zhi)接(jie)觀(guan)測(ce)不(bu)導電樣品

3. Upper探(tan)頭可選擇接受(shou)二次電(dian)子像(xiang)或背散射電(dian)子像(xiang)

4. 可以(yi)根據樣(yang)品類型和觀測要(yao)求選擇(ze)打開或關閉減(jian)速(su)功能(neng)

5. 標配有冷指(zhi)、電子(zi)槍內置(zhi)加熱器,物鏡光闌具有自(zi)清潔功能

6. 儀器的烘(hong)烤維護及(ji)烘(hong)烤后的透鏡機械對中均可(ke)由(you)用戶自(zi)行(xing)完成

 

主要用途:

掃描電鏡(SEM)可觀察(cha)(cha)(cha)納(na)米材料(liao)(liao)、材料(liao)(liao)斷口(kou)的分析、觀察(cha)(cha)(cha)原始(shi)表面、觀察(cha)(cha)(cha)區域細(xi)節、顯微結構分析等。

 

X射線能譜(pu)儀可進行成(cheng)分(fen)(fen)的常規微區分(fen)(fen)析:元素定(ding)量、定(ding)性成(cheng)分(fen)(fen)分(fen)(fen)析,實時(shi)微區成(cheng)分(fen)(fen)分(fen)(fen)析,快速的多元素面(mian)掃描和線掃描分(fen)(fen)布測量。分(fen)(fen)析范圍Be4~U92。

 

已廣泛應用于材(cai)料(liao)(liao)科學、金屬(shu)材(cai)料(liao)(liao)、陶(tao)瓷材(cai)料(liao)(liao)半導體材(cai)料(liao)(liao)、化學材(cai)料(liao)(liao)、醫藥科學以及(ji)生物等領(ling)域。

 

 

二次電子分辨率

1.0nm(加速電壓15kV、WD=4mm)
1.3nm(加速電壓1kV、WD=1.5mm)
加速電壓0.1~30kV
觀測倍率20~8000,000(底片輸出)
60~2,000,000(顯示器輸出)
樣品臺
馬達驅動3軸馬達
5軸(選配)
行程X0~50mm
Y0~50mm
Z360°
T-5~70°
R1.5~30mm
zui大裝載尺寸100mm(zui大)
150mm(選配)
探頭
標配Lower高立體感圖像
Upper高分辨SE、BSE圖像
 
選配
STEM明場像、暗場像
YAG 探頭BSE圖像
半導體探頭BSE圖像
EBIC 電子束感生電流圖像
EDS元素分析
反污染措施
冷指標配
物鏡光闌內置自清潔功能
電子槍內置加熱器
真空系統
離子泵3臺
分子泵1臺
機械泵1臺

 

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