主營產品：X射線熒光光譜儀
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FlexSEM1000是日立公司推出的一款機型小巧性能優異的鎢燈絲掃描電鏡，擁有(you)大束流和(he)低球差的物鏡和(he)聚(ju)光鏡設計，配備了高分辨率(lv)二次電子探(tan)頭及(ji)高靈敏度五分割背散射(she)探(tan)頭，具有(you)的低真空(kong)成像能量，并且采用的SEM MAP高精度導(dao)航系統及(ji)的自動化功(gong)能，使(shi)性能更(geng)加優越，使(shi)用更(geng)加簡便。
產品特點
1.節能(neng)環保的設計
2.高效率的自(zi)動功能
3.簡捷的操作(zuo)界面
4.高(gao)分辨低(di)真空(kong)觀察
鎢燈絲掃描電鏡?技術參數
| 分辨率 | 4.0nm（加速電壓20kV，高真空模式，二次電子像） |
| 15.0nm（加速電壓1kV，高真空模式，二次電子） | |
| 5.0nm（加速電壓20kV，低真空模式，背散射電子像） |
| 放大倍率 | 底片倍率：6 – 300,000x |
| 顯示器倍率：16 – 800,000x |
| 加速電壓 | 0.3-20kV |
| 低真空可變壓力范圍 | 6-100Pa |
| 馬達臺 | 標配三軸自動馬達 |
| 行程 | X： 0-40mm |
| Y： 0-50mm | |
| R： 360 ° | |
| Z： 5-15mm | |
| T： -15- 90° | |
| 電子光學系統 | 電子槍：預對中鎢燈絲 |
| 信號檢測系統：二次電子探測器；高靈敏度背散射探測器 |
| 真空系統 | 全自動閥門控制抽真空系統/渦輪分子泵：61L/S 1臺 |
| 機械泵：100L/min 1臺 | |
| 安全裝置：帶停電、漏電保護的真空保護功能 | |
| 操作輔助功能 | 電子束旋轉；動態聚焦；畫質優化功能 |
| 數據輸入；2點間測量、角度測量、文字；預設倍率； | |
| 樣品臺位置導航功能（SEM MAP)；電子束標記 |
應用領域：
1、 生物醫學
2、 食品衛生
3、 電子半導
4、 汽車制造
5、 新能源
